Mikroskopie

Optikkompetenz für die Halbleiterindustrie verspricht das neue Mikroskop INH 3000 DUV, das Vistec Smiconductor Systems auf den Markt brachte

Die Vistec Semiconductor Systems GmbH, Wetzlar, zeigte jüngst neue Produkte. Alle Standardmodule sind bereits in den Vistec-Inspektions- und -Metrologiesystemen erprobt. Sie werden gegebenenfalls in die jeweilige Anlage des Anwenders eingepasst. Das INH3000DUV ist beispielsweise ein vollautomatisiertes Mikroskopmodul, das die Beleuchtungsarten Visuell, UV (365 nm) und DUV (248 nm) in sich vereinigt und damit Inspektion und Messanwendungen für die neuesten Designrules der Halbleiterindustrie erlaubt. TCO-Merkmal: Für den Kunden wurde zusätzlich ein Modul zur Lasereinkopplung integriert, wodurch die Reparatur von Defekten auf Masken möglich wird.

20.09.2006 - Technik+Einkauf

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